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99.99999%纯度电子级多晶硅 中国也能出口了
www.bcbay.com | 2018-06-07 18:50:36  科技日报 | 0条评论 | 查看/发表评论

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  据《科技日报》6日报道,纯度要求达到99.999999999%的电子级多晶硅终于量产。这标志着我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准,也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。

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  电子级多晶硅棒

  《科技日报》记者6日从江苏鑫华半导体材料科技有限公司获悉,经过一系列严格的验证、检测,近日一批集成电路用高纯度硅料出口韩国,同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。

  电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料,过去中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本完全依赖进口。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料。

  相对于太阳能级多晶硅99.9999%纯度,电子级多晶硅的纯度要求达到99.999999999%。5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量相当于一枚1元硬币的重量。

  据徐州发布消息,江苏鑫华半导体材料科技有限公司总经理田新表示,鑫华半导体研发团队历经317次电子级多晶硅生产试验,用一年多时间,对629项技术、设备优化改进,以70%的国产设备,系统性解决了杂质释放问题,实现了原料端彻底祛除和控制杂质,并且全球首创采用自动化无接触硅料处理系统。

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  鑫华半导体材料科技有限公司副总经理张晓东表示,中国是世界最大电子产品制造国,每年对集成电路器件及芯片需求巨大,但几十年来基本依赖欧美日进口。鑫华电子级多晶硅的自主生产,标志着我国电子级多晶硅突破海外多年技术封锁,填补国家集成电路产业专项一项空白。

  他说:“鑫华电子级多晶硅的投产,不仅将打破国外技术、市场垄断,填补国内半导体级原材料生产的空白,鑫华公司也将成为继美国Hemlock、德国Wacker之后全球第三大半导体硅材料生产商。”

  2015年12月,鑫华半导体由国家集成电路产业投资基金联手保利协鑫共同投资,建设国内首条5000吨半导体集成电路专用电子级多晶硅生产线。去年11月8日协鑫旗下鑫华半导体正式发布电子级多晶硅产品。

  鑫华半导体公司第一条生产线的产能为5000吨,可保证国内企业三至五年内电子级多晶硅不会缺货,产品质量满足40nm及以下极大规模集成电路用12英寸单晶制造需求。同时,还将规划再上一条5000吨生产线,以更好地满足国际国内市场。

  《中国能源报》此前报道称,我国电子级多晶硅的研制始于二十世纪五十年代,六十年代中期进入批量生产,至七十年代末改良西门子法的生产技术、工艺已臻成熟。

  那时尽管生产规模小,设备简陋,但因当时国内需求少,生产的产品基本能够满足国内需求。此后由于国内产量不足、质量不稳定等原因,我国开始大量进口电子级多晶硅。

  从进口数据分析,2013年至2017年,我国多晶硅进口数量从80653吨逐年攀升至144000吨。2014年,国务院签发了《国家集成电路产业发展推进纲要》,同时成立了国家集成电路产业投资基金,电子级多晶硅迎来重大利好。

  从近十年的发展状况来看,虽然多晶硅在我国得到长足发展,但高品质多晶硅仍然需要进口。进口数据中所有的分立器件、集成电路用多晶硅和高效光伏电池用多晶硅全部进口,国内高品质多晶硅缺口仍然巨大。

  报道称,有专家研判,国内电子级多晶硅的需求是4500吨/年。

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